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本次网络研讨会将概述晶圆级器件制造和表征技术，这些技术将推动石墨烯和基于2D材料的技术进入下一阶段的技术准备阶段。
石墨烯/2D器件开发工作将涵盖三个方面:
由牛津仪器等离子技术狗万正网地址与Raith Gmbh是一家和das-Nano缟玛瑙．
气相沉积技术已经成为所有基于石墨烯和其他2D材料的器件制造的主力技术。为了成功扩大到目前为止的原型应用，需要开发大面积沉积这些材料的技术和工艺。万博电脑网页版登录
在这次演讲中，我将首先概述牛津仪器开发的石墨烯生长实验室fab技术和工艺，狗万正网地址通过CVD和ALD实现了其他层状材料和异质结构，随后我们在器件制造工艺技术方面取得了进展，如ALD的介质沉积和RIE和ALE的器件图形蚀刻。
电子束光刻(EBL)系统已经被证明是一种灵活的纳米制造工具，实现了广泛的纳米技术应用。万博电脑网页版登录它们被认为是当今各个学科以纳米研发为基础的实验室的“必备”。这些EBL技术通常提供10纳米以下特征尺寸的纳米图形分辨率。
本文将介绍电子束光刻技术的基本原理，以及纳米器件制造的相关后续关键工艺技术步骤。重点将放在许多不同的应用上，展示石墨烯的基础研究和先进的(晶片级)石墨烯纳米器件的应用。万博电脑网页版登录
在这次演讲中，我将解释THz波的特殊特性的组合如何引入一种新的方法来观察以前看不到的东西。该技术已在ONYX系统中得到应用，该系统是市场上第一个旨在提供石墨烯、薄膜和其他二维材料的全区域无损表征的系统，覆盖了宏观和纳米尺度工具之间的差距。
详细介绍了它的工作原理、主要特点和可能的应用。万博电脑网页版登录大型行业参与者和研究机构已经在使用我们的基于太赫兹的设备，如Onyx，在他们的制造过程和质量控制中实施它。
拉维参与材料研究等机构在几个欧洲瑞士,马克斯普朗克研究所斯图加特,德国,IBM T.J沃森研究实验室,纽约和剑桥大学,他在几个方面1 d和2 d材料合成的研究,基础科学在传感器原型应用程序,万博电脑网页版登录光电和电子产品。
他加入Oxford 狗万正网地址Instruments，领导和协调2D材料产品的研发工作。目前，他主要负责二维材料、生物医学设备、集成光子学、量子技术等新兴技术市场的拓展和战略制定。
Frank Nouvertné于1998年在亚琛工业大学获得物理学博士学位，随后从事了一年的博士后工作。从那时起，他在Raith工作，首先是国际销售，后来是产品经理，目前是电子束光刻(EBL)高级产品市场经理。
他为学术市场管理整个EBL系统组合，在基础和应用纳米研究的各种应用方面积累了丰富的经验，并通过与大学和其他研究机构合作领导几个(国家和欧洲)研究项目来补充他的专业知识。万博电脑网页版登录
Israel Arnedo目前是das-Nano S.L公司的太赫兹技术总监，纳瓦拉公立大学电气、电子和通信工程系副教授。自2018年起，他担任UPNA工程学院副院长。他在微波、毫米波和太赫兹领域的研究兴趣包括周期结构器件、耦合模理论、反散射合成、材料表征及其在超宽带(UWB)系统中的应用、空间和卫星技术、生物医学工程研究和工业产品。万博电脑网页版登录
在该领域发表论文75余篇，已成功获得国际专利2项。
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