牛津仪器小组的一部分狗万正网地址
扩张
网络研讨会
石墨烯和2D材料的晶圆刻度设备制造和电气表征

2019年8月1日下午3点(英国)


关于网络研讨会

该网络研讨会概述了晶圆尺度的设备制造和表征技术,这些技术将推动基于石墨烯和2D材料技术的开发到下一阶段技术准备就绪。

将涵盖石墨烯/2D设备开发工作的三个方面:

  • 材料制造
  • 光刻
  • 非破坏性电特性

由牛津仪器等等离子技狗万正网地址术与Raith GmbhDas-Nano Onyx

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议程

石墨烯和2D材料的晶圆规模设备制造技术
Ravi Sundaram博士,牛津狗万正网地址乐器

蒸气沉积技术已成为基于石墨烯和其他2D材料的所有设备制造的主力。为了成功扩展迄今为止所证明的原型应用,需要开发这些材料大面积沉积的技术和过程。万博电脑网页版登录

在本次演讲中,我将首先将实验室概述概述为牛津工具在牛津工具中开发的技术和流程,以增长石墨烯,其他分层材料和异质结构,由CVD和ALD进行,然后是我们用于设备制造过程的技术发展,例如ALD的介电沉狗万正网地址积,Rie和Ale蚀刻的设备图案。

EBL对石墨烯基于基于石墨烯的设备的晶圆刻度
弗兰克·诺弗特(Frank Nouvertne)博士,雷思(Raith)

事实证明,电子束光刻(EBL)系统是柔性纳米化工具,可实现广泛的纳米技术应用。万博电脑网页版登录在当今的各种学科的基于纳米研发的实验室中,它们被认为是“必须拥有的”。这些EBL技术通常提供纳米图案分辨率,该分辨率具有下10nm的特征大小。

将描述电子束光刻和相关的随后的基本过程技术步骤的基础,以介绍纳米涂片的制造。将重点放在许多各种应用程序上,显示基本石墨烯研究和高级(Waferscale)石墨烯Nano万博电脑网页版登录device应用程序。

基于THZ的非接触式迁移率,晶圆量表上的电导率测量
以色列Arnedo博士,Das-Nano S.L.

在这次演讲中,我将解释THZ波的特定特征的组合如何引入一种新的观察以前看不见的方式。这项技术是在Onyx中实施的,Onyx是市场上的第一个系统,旨在提供石墨烯,薄膜和其他2D材料的全部非破坏性表征,涵盖了宏观和纳米级工具之间的差距。

它的操作原理,主要功能和可能的应用将详细介绍。万博电脑网页版登录大型行业参与者和研究机构已经在使用我们的基于Terahertz的设备,例如Onyx,在其制造过程和质量控制中实施它。

认识主持人

Ravi Sundaram博士

Ravi Sundaram博士
狗万正网地址牛津仪器等离子技术

Ravi曾在EPFL,瑞士,Max Planck Stuttgart,德国,IBM T.J Watson Research Labs,NY和Cambridge University等多个机构中参与了材料研究。传感器,光电和电子产品中的原型应用的基本科学。万博电脑网页版登录

他加入了牛津仪器,领狗万正网地址导和协调研发工作,以实现2D材料产品。目前,他负责为新兴技术市场(例如2DMaterials,生物医学设备,综合光子学,量子技术,量子技术)进行范围和制定战略。

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弗兰克·诺弗特(Frank Nouvertne)博士 - 雷斯(Raith)

弗兰克·努维尔温(FrankNouvertné)博士
Raith Gmbh

弗兰克·诺弗特内(FrankNouvertné)于1998年在亚兴技术大学获得物理博士学位,随后担任博士后一年。从那以后,他为Raith工作,首先是国际销售,后来担任产品经理,目前是高级产品市场经理电子束光刻(EBL)。

他为学术市场管理整个EBL系统产品组合,在基本和应用纳米搜索方面的各种应用中收集了丰富的经验,并通过领导了几个(国家和欧洲)研究项目,并与大学和其他研究机构一起领导了他的知识。万博电脑网页版登录

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以色列Arnedo博士-Das -Nano

以色列Arnedo博士
Das-Nano S.L

以色列Arnedo目前是Das-Nano S.L Company的Terahertz技术总监,也是纳瓦拉公立大学电气,电子和通信工程系的副教授。自2018年以来,他是UPNA工程学院的副士兵。他对微波,毫米波和Terahertz领域的研究兴趣包括周期性结构设备,耦合模式理论,逆散射合成,材料表征及其在超宽带(UWB)系统中的应用,空间和卫星技术,生物医学工程技术万博电脑网页版登录研究和工业产品。

他在这些领域发表了75篇论文,并持有2项获得许可的国际专利。

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