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提高LED行业拥有成本的积极推动推动了牛津仪器等离子技术的创新。狗万正网地址优化的等离子处理提供了许多方法来提高设备输出和降低制造成本，双重意外之财。
LED制造需要关键的等离子蚀刻步骤(有图案的蓝宝石衬底(PSS)和GaN蚀刻)以及钝化、电流阻塞和掩模创建的沉积步骤，这些都是通过越来越多的技术来完成的，例如等离子体增强化学沉积(PECVD)。
本文介绍了通过提高加工速率和增加同时加工的晶圆数量来提高这些工艺生产率的方法。
主讲人:Mark Dineen博士，产品经理:光电子学(英文)
Mark Dineen博士毕业于卡迪夫大学，获得氮化镓等离子体刻蚀的博士学位，并于2000年开始在牛津仪器公司工作。狗万正网地址从事III-V材料的蚀刻工作，然后专注于氮化镓，蓝宝石和HBLED相关材料，他在光电子器件制造方面有丰富的经验。
本次网络研讨会由黄杨博士以中文发言。查看中文版
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