40多年来,等离子体刻蚀一直是半导体和其他行业器件制造的关键。本报告将重点介绍等离子体蚀刻(一种减法)在纳米尺度时代的扩展及其在纳米技术中的持续关键作用。
简要介绍了纳米技术和等离子蚀刻原理的概述,然后详细讨论了纳米蚀刻的困难以及可以做些什么来克服这些挑战。接下来是硅纳米级蚀刻的例子,包括一些扩展能力的技巧,然后是牛津仪器公司最近在金属和其他材料蚀刻方面的例子。狗万正网地址
讲座由科林韦尔奇,原则蚀刻应用工程师和专家在牛津仪器纳米蚀刻。狗万正网地址万博电脑网页版登录