纳米级等离子蚀刻:录音讲座

40多年来，等离子体刻蚀一直是半导体和其他行业器件制造的关键。本报告将重点介绍等离子体蚀刻(一种减法)在纳米尺度时代的扩展及其在纳米技术中的持续关键作用。

简要介绍了纳米技术和等离子蚀刻原理的概述，然后详细讨论了纳米蚀刻的困难以及可以做些什么来克服这些挑战。接下来是硅纳米级蚀刻的例子，包括一些扩展能力的技巧，然后是牛津仪器公司最近在金属和其他材料蚀刻方面的例子。狗万正网地址