牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
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MEMS应万博电脑网页版登录用和系统:实现下一代工业和消费产品

将硅微电子技术与微加工技术、MEMS技术和基于微系统的设备相结合,可能会以一种最积极的方式影响我们的生活和生活方式。现在,我们日常使用的产品中嵌入了数百万个MEMS设备。

使用包括深硅蚀刻,低温蚀刻,博世和ALD在内的技术,牛津仪器的多功能和高性能系统旨在促进MEMS革命。狗万正网地址