牛津仪器组的一部分狗万正网地址
注意:简化工艺流程。
在牛津狗万正网地址仪器等离子技术,我们的一个伟大的成功已经在台面VCSELs制造业。我们一再证明了高精度制造的VCSEL平顶山掩蔽在150 mm晶圆蚀刻的台面,与设备通过加速寿命测试。
平顶山蚀刻均匀和顺利,超低的基础。这个过程是完全自动化的帮助下端点检测使台面高度精细控制。
我们的VCSEL解决方案支持最高产量的优良的光电性能。用等离子体处理的专家,我们启用VCSEL制造商生产大量高质量的激光。我们目前的解决方案已被证明在基质多达150毫米和能够处理200毫米衬底。
我们的VCSEL解决方案实现良好的均匀性最大的设备性能。
可以通过我们先进的等离子体处理解决方案PlasmaPro 100平台,已配置为高容量生产多达200毫米晶圆的大小。
我们的化学汽相淀积和ICP / RIE解决方案包括多个步骤,如屏蔽、钝化、台面或隔离。狗万正网地址牛津仪器有着悠久的历史,与化合物半导体社区密切合作,提供最大的设备性能和生产效率。
从三维传感的高功率转换效率高稳定的数据通信,我们相应地支持制造过程提供目标性能。
牛津狗万正网地址仪器©2022
