单载锁系统

我们的单个负载锁定过程模块提供了一个具有单晶片和多磁力批次功能的200mm平台。
该过程模块提供了出色的均匀性，高通量和高精度过程。我们的工具经过证实，有超过90％的正常运行时间和流程可以确保在安装过程中快速启动。