领先的下一代应用程序的量子技术解决方案万博电脑网页版登录

我们提供几个解决方案超导量子比特和量子电路:

• ALD的超导氮化物,例如NbN公司禁止,锡
• ALD的隧道障碍,例如₂O₃,AlN
• 等离子体刻蚀的超导金属和氮化物
• 通过深硅蚀刻在矽(TSV)对3 d集成

我们的解决方案和专业知识的背后是多年的研究在沉积和蚀刻为超导量子电路组件的制造。

我们提供三个关键应用量子光子集成电路:万博电脑网页版登录

• 原子层沉积的SNSPDs超导氮化物
• 高温、硅₄和NH₃如果无PE (ICP)心血管疾病₃N₄为低损耗波导
• 等离子体刻蚀的光学组件(如光栅波导)

使这些解决方案FlexAL和PlasmaPro 100沉积和蚀刻系统,能产生小优惠券到200 mm晶圆,可集群增加吞吐量和避免真空优惠。我们的PlasmaPro 100平台支持高精度沉积和蚀刻为量子设备范围广泛的材料。

我们提供各种设备制造挑战的关键处理解决方案的各种方法在当今量子技术研发和设备开发。

狗万正网地址牛津仪器有很强的历史在这个快速发展提供先进的解决方案应用程序的关键推动者量子技术以外的设备制造解决方案。万博电脑网页版登录