我们提供几个解决方案超导量子比特和量子电路:
我们已经开发出一种血浆ALD过程操作温度较高的NbN公司禁止超导互联
结合血浆ALD的好处(PE-ALD)与其他技术集群系统的能力和释放独特的功能。
去除无定形氧化本地种植优质PE-ALD之前2O3通过:
(来源:Jinesh et al ., 2011)
单层或堆栈腐蚀导致:
200海里Nb腐蚀
抵制面具完全剥夺了
200纳米莫腐蚀
抵制面具部分剥夺了
垂直铝/铝2O3/ Al隧道结堆栈腐蚀
我们提供两个蚀刻过程制造垂直tsv,从而使扩展基于3 d的超导量子电路架构
博世蚀刻的TSV
低温腐蚀的超光滑侧壁特性
使这些解决方案FlexAL和PlasmaPro 100沉积和蚀刻系统,能产生小优惠券到200 mm晶圆,可集群增加吞吐量和避免真空优惠。
我们的PlasmaPro 100平台支持高精度沉积和蚀刻为量子设备范围广泛的材料。
的FlexAL原子层沉积(ALD)系统提供了一个广泛的高质量的退化过程优化隧道的制造障碍和钝化层各种量子设备,并使超导薄膜的沉积具有高临界温度,tsv谐振器和单光子探测器。
狗万正网地址牛津仪器有很强的历史在这个快速发展提供先进的解决方案应用程序的关键推动者量子技术以外的设备制造解决方案。万博电脑网页版登录