量子信息处理和量子传感器件的晶圆处理解决方案

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例如:PlasmaPro100 Estrelas中的深度Si蚀刻，PlasmaPro100 Cobra中的金属，金刚石和化合物半导体蚀刻以及FlexAL中的超导氮化物ALD。下载小册子至继续阅读．