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扩张

磷化铟

狗万正网地址牛津仪器等离子体技术为基于磷化铟(INP)的铟的高批量制造提供世界领先的等离子加工设备。

通过与主要制造商和主要研发领导人的密切合作,我们确保等离子解决方案的最新创新,充分利用您的设备。等离子体工艺解决方案已经开发使用电感耦合等离子体(ICP),反应离子蚀刻(RIE)或离子束蚀刻(IBE)。

磷化铟(InP)及其与铝、砷化物和镓相关的化合物构成了许多使通信革命成为可能的设备的基础。InP用于高功率、高频光电子和电子器件,如固体激光器。其优越的电子速度和直接带隙使得快速开关光学元件能够快速传输大量数据。它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)反应离子蚀刻(RIE)离子束腐蚀(IBE)

白皮书
基于InP的设备示例

基于INP的设备示例:
埋地分布反馈(DFB)激光器

具有光滑的侧壁和蚀刻表面以最佳蚀刻速率的优异轮廓控制。

  • 晶片尺寸:100毫米
  • 批量大小:高达4x2“
在ICP 请求更多信息
INP氯化过程

使用氯化工艺化学,

InP ICP光滑表面

ICP-RIE无与伦比的临界INP MESA / RIDGE蚀刻所需的精确型材和光滑表面

优异的各向异性和光滑的表面。精确的深度控制。

更多关于RIE 请求更多信息

对概况的良好控制。

  • RF来源可能与RIBE成为可能
  • 晶片尺寸:200毫米
更多关于IBE 请求更多信息
InP CAIBE

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