硝酸甘露(GAN)是一种令人兴奋的材料,可以在某些重要技术中取得关键的进步。GAN HIGH BRIGHNTESS LED(HBLEDS)已经彻底改变了照明,GAN激光二极管用于高速数据传输,而基于GAN的RF设备将很快应用于有效的电动传输和手机基站。gan可能会使用干燥电感耦合等离子体(ICP),,,,反应性离子蚀刻(RIE)或者离子束蚀刻(ibe)。它可以使用阿尔德。
流程专业知识应用于表现出出色的表面粗糙度,并具有低损伤和优化的蚀刻速率。
以竞争性蚀刻速率实现各向异性曲线。
很好地控制轮廓,具有出色的选择性。
高材料质量。