量子技术的尖端工艺介绍。我们将向您介绍我们的最新发展,并介绍我们客户的一些参考研究工作,包括3步优化的金刚石蚀刻工艺,等离子体ALD的TSV涂层,高温高温NbN的Si PECVD3.N4用于低损耗光学元件等。
深入了解原子层沉积,原子层蚀刻的基础知识,以及如何以可扩展的方式生长二维材料。了解等离子体和反应堆条件的控制如何改善和定制材料性能。组合和集群这些技术可以充分发挥原子级处理的优势。我们还将为各种各样的氧化物、氮化物和硫化物展示这样的例子。
哈姆·克努普斯博士是牛津仪器等离子技术的原子级分段专家,并在埃因霍温理工大学担任兼职助理教授。狗万正网地址他目前的工作包括(基于等离子体的)薄膜合成,高级诊断以及理解和开发等离子体ALD。
他的主要目标是为牛津仪器及其客户改进和推进原子尺度的过程和应用。狗万正网地址万博电脑网页版登录他最近在等离子体ALD中应用射频衬底偏压和等离子体ALD生长2D-MoS2方面的研究受到了业界的好评。