从外延设计联系,精确地控制生产是至关重要的实现目标在构建VCSEL光电特性。在这个网络研讨会,我们讨论可靠地制造VCSEL关键要点。基于我们的经验在纳米制造和创造等离子体处理的解决方案,我们回顾整个芯片处理工作流和解释我们如何解决的一些挑战支持精确地控制激光输出。