牛津仪器集团的一部分狗万正网地址
VCSELs为自动驾驶汽车提供了3D传感、手势识别和激光雷达等技术。由3D传感技术支持的人脸识别已经被多家高端智能手机制造商采用，并为多种新应用开辟了道路。万博电脑网页版登录这些应用正在万博电脑网页版登录推动vcsel从低功率操作向高功率操作的转变。
VCSEL用作红外光发射器，照亮物体以感知。由于其独特的器件特性，包括低光束发散、温度稳定性和低功耗，它们是该应用的理想光源。
简化工艺流程。橙色的过程显示了牛津仪器技术覆盖的解决方案。狗万正网地址
在牛津狗万正网地址仪器等离子技术公司，我们最大的成功之一是VCSELs的台面制造。我们已经多次演示了VCSEL台面的高精度制造，从掩盖到在150mm晶圆上蚀刻台面，设备通过了加速寿命测试。
台面蚀刻均匀、平滑，基脚极低。整个过程由全自动端点检测辅助，可以对台面高度进行精细控制。
我们的VCSEL解决方案在最大产量下支持卓越的电光性能。利用我们在等离子体处理方面的强大专业知识，我们使VCSEL制造商能够生产高质量的高容量激光器。我们目前的解决方案已被证明适用于150毫米以下的基材，并能够加工200mm的基材。
我们的VCSEL解决方案实现了卓越的一致性，实现了最大的设备性能。
先进的等离子体处理解决方案可以通过我们的PlasmaPro 100平台，该平台已配置用于高达200mm晶圆尺寸的大批量生产。
我们的心血管疾病和ICP / RIE解决方案包括各种步骤，如掩蔽、钝化、台面或隔离。牛津仪器公司长期以来一直与化合物半导体界密切合作，以提供最大的器件性能和制造效率。狗万正网地址
从3D传感的高功率转换效率到数据通信的高稳定性，我们相应地支持制造过程以提供目标性能。
©O狗万正网地址xford Instruments 2021
