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Micro LED是具有强大技术差异化的新兴展示技术。微型LED显示器可以实现高亮度，对比度和动态范围，并具有低功耗。这些好处使该技术非常适合于增强现实和智能手表显示器等应用。万博电脑网页版登录为了满足消费市场所需的高量化，必须优化微型领导的制造过程，以实现收益和吞吐量。
牛津仪器在血浆处理方面有多年的经验，为红色，蓝色和绿色LED提供了创新的解决方案。狗万正网地址解决方案组合包括处理III V材料，例如甘或者Ingaalp，以及诸如ALD之类的沉积过程al2o3。我们使世界领先的半导体公司和科学研究社区能够生产高效率，低成本的迷你和微型领导。
为了获得微型领导的最佳亮度和效率，牛津仪器显示出具有出色过程可重复性的绿色和蓝色微型领导的高质量硝酸盐（G狗万正网地址AN）蚀刻溶液。
高质量的gan蚀刻支持微型领导的制造商提供高设备效率。我们的等离子蚀刻过程可在带有干净，光滑的侧壁和特征底表面的GAN设备上提供出色的表面质量。
ICP蚀刻台达到了高性能AlgaInp设备（红色微型LED）所需的最终表面质量。与全球关键的微型领导者合作，我们已经经过证明的专业知识，可以为Backside Via，倾斜功能和垂直台风/隔离为微型LED应用程序提供流程结果。万博电脑网页版登录
原子层蚀刻（啤酒）是一种能够蚀刻高度准确性和低损伤的高级技术。它可与常规的ICP蚀刻加工结合使用，可用于高性能GAN MESA蚀刻和低损伤接触垫。
CAIBE（化学辅助离子束蚀刻）也可以用于台面蚀刻。CAIBE可以很好地控制侧壁角度和高选择性（尽管与ICP蚀刻相比，蚀刻速度较低）。IBE技术也已被证明是对微型领导结构的最小或没有损害的金属接触蚀刻的理想选择。
侧壁钝化已被确定为制造微型领导的关键步骤。需要高质量的沉积以证明最佳的侧壁质量并最大程度地提高设备效率。原子层沉积已被证明是一种解决方案，可帮助最大程度地减少非辐射重组，这是由于蚀刻损伤而产生的。
我们的高质量钝化利用了表面预处理进行卓越的界面控制，改善了设备的光学性能以及低离子能量等离子体源以用于低损伤沉积。我们的解决方案投资组合包括用于一系列材料的高级处理，包括SIO，SIO2，Aln，HFO2或al2o3。这atomfab专门为在市场领先的吞吐量，产量和所有权成本提供高质量的PE-ald电影而制造。
介电封装和电接触沉积也需要高质量的材料。我们的离子束沉积技术提供高纯度，高密度和低表面粗糙度的材料，非常适合微型领导。
表面光滑的gan蚀刻
Sio2中的ALD-埃因霍温技术大学提供
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