微/纳米电力机械系统(M / NEMS)和传感器已通过用于消费者和商业产品的多个设备进行了充分的建立。这包括智能手机,汽车,游戏机,导航助剂,无人机和生物医学设备。这被设置为随着物联网(物联网)的增加,超出其当前功能。
随着对节能、更小和成本效益器件需求的增加,全面选择制造要求是至关重要的。狗万正网地址牛津仪器提供了一系列独特的灵活设备和工艺解决方案来应对这些挑战,包括深硅蚀刻,ICP,PECVD,“肾上腺脑白质退化症”,纳米级生长和离子束蚀刻和沉积.