2D材料处于薄膜尺寸的极限,厚度降低到一个原子。这些材料具有最高的电子和光电特性,如今研究人员正在尝试利用用于电子,光电和能源应用的下一代设备。万博电脑网页版登录
尽管石墨烯启动了这些超薄材料的探索和应用,但它创造了许多其他2D材料(例如氮化物(HBN))和过渡金属二核苷(MOS)(MOS)的广泛探索和应用领域。2,WSE2ETC。)。尽管可以在自然界中找到这些材料,并且可以从散装晶体中剥落,但采用了基于化学蒸气的技术来轻松扩大以后的设备。
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在牛津狗万正网地址仪器等离子技术,我们在从高温CVD到低温ALD的各种过程中拥有丰富的经验。
该规范是针对通过化学蒸气沉积(CVD)过程。
Datacom的石墨烯EO调制器。
该规范是针对通过化学蒸气沉积(CVD)工艺获得的。为了进行过程演示,b2H6用作硼源和NH3作为Cu/Ni箔上的氮作为催化剂底物。
我们提供配备有前体蒸气输送模块的PECVD系统,用于增长二维材料(例如MOS)2,WS2等等
良好的厚度控制,低缺陷和强发光
高质量的MOS2:
纳米晶石墨烯在介电底物上的直接生长使用血浆增强化学蒸气沉积。
2D钼二硫化物的原位生长(MOS2)石墨烯异质结构
我们提供CVD/PECVD/远程等离子体(ICP)CVD系统,配备了前体蒸气输送模块,用于生长二维层和材料的异质结构,例如石墨烯,MOS2,WS2等等
这是一个三步的过程:
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