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Ionfab离子束

Ionfab是我们用于增强现实(AR)应用的倾斜表面浮雕光栅蚀刻的最新解决方案。万博电脑网页版登录

  • 大均匀面积高产
  • 角度>45°可实现高效率光栅耦合器
  • 工艺灵活性的一系列设备设计
  • 精确的光栅角度定义,高度对称的特点
  • 可扩展性超过200毫米晶圆面积
  • 使用牛津仪器公司的创新技术(正在申请专利)对各种光栅角度进行高度均匀的蚀刻狗万正网地址
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要求定价

AR应用的精度和可扩展性万博电脑网页版登录

虽然许多技术都被认为可以提供真正的沉浸式AR体验,但波导方法受到了主要参与者的青睐,如微软Hololens和Vuzix,因为它能够实现高视场。

我们在大面积蚀刻倾斜光栅方面拥有多年的专业知识,我们的解决方案旨在提供高产量所需的制造质量。

我们支持制造商在可获得的倾角范围内达到最佳的光学效率。

高收益设备制造

我们用于IBE的离子晶圆系统已配置为200毫米晶圆尺寸上的市场领先均匀性。

我们的专有离子束技术和专利网格设计允许我们生产标准45°光栅具有卓越的精度。我们的加工能力涵盖各种材料,如硅和硅2

集群配置选项是可用的,使用现场证明,高度可靠的真空转移机器人。

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SiO2倾斜光栅AR扫描电镜
Cr基于“增大化现实”技术的扫描电镜

高质量的离子束刻蚀

优越的工艺重复性和较低的拥有成本使Ionfab工具成为从研发到批量生产的可配置的优秀系统。

关键好处

  • 高级研究应用的灵活配置万博电脑网页版登录
  • 生产的均匀性和工艺重现性无与伦比
  • 灵活的晶圆处理能力-单片晶圆负载锁定或盒对盒机器人处理
  • 大均匀面积高产
  • 精确的光栅角度定义,高度对称的特点
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IBE加工室原理图

晶圆放置在基片支架上,基片支架的角度朝向离子源。衬底支架的角度可以调整为启用角度刻蚀。

全球客户支持

狗万正网地址牛津仪器致力于为全球客户提供全面、灵活和可靠的支持。我们在您的系统的整个生命周期内提供优质的服务。

  • 远程诊断软件提供快速、简便的故障诊断和解决方案
  • 支持合同可以满足预算和情况
  • 全球备件在战略位置,以快速反应

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