快速腐蚀率和较低的清洁费用意味着更高的工具正常运行时间。通过你的工厂提高正常运行时间意味着更多的晶片
垂直方面意味着更高的设备效率,更多的光功率
光滑表面意味着更少的光散射——更有用
基本这样复杂的结构,停止在正确的层可以使或打破你的设备
均匀腐蚀深度意味着更多的设备可以由每个晶片,提高产量降低成本
等离子体处理可使激光二极管生产工具包