二维材料和异质结构的沉积

二维材料和异质结构的沉积
Ravi Sundaram博士，牛津狗万正网地址仪器等离子技术

气相沉积技术在二维(2D)材料的生长中获得了很大的兴趣。近年来，研究其他范德华固体和异质结构的原子平面的研究人员数量激增，这些结构是通过堆叠具有互补特征的层来实现新的功能。为了成功地扩大迄今证明的原型应用，需要开发用于大面积沉积这些材料的技术和工艺。万博电脑网页版登录在这里，我们介绍了所采用的技术和工艺参数对化学气相沉积(化学汽相淀积)生产单层MoS的工艺₂使用气相S前驱体(H₂S)和固体Mo前驱体(MoCl . S)₅)．利用拉曼光谱定性分析了通过直接控制沉积变量优化结晶质量的策略和工艺参数对缺陷密度的影响。的特点CVD生长MoS₂在不同的基片上，研究石墨烯作为基片的用途金属氧化物半导体₂增长这为二维异质结构的生长开辟了一条道路。