2019年6月13日|Ravi Sundaram博士

探索石墨烯和2D材料设备的解决方案

自开创性实验揭示了石墨烯的迷人特性以来，已经过去了将近15年。最初作为基本物理研究的操场已经发展成为健康的开发活动浪潮，以利用这种迷人的原子厚材料的最高特性。

特别是，用于超过摩尔技术的集成万博电脑网页版登录光子学，发光设备和新的通道材料中的应用正在显示现有解决方案的有希望的价值主张。

基于2D设备的关键技术

最近，我们组织了一个网络研讨会突出了将基于石墨烯（和2D材料）设备推向下一阶段技术准备就绪的一些关键技术。

为了解决社区从事这项技术的挑战，我们与Raith Gmbh和Das-Nano S.L。The idea behind this event was to provide an overview of solutions not restricted to Oxford Instruments Plasma Technology’s expertise on atomic layer growth, etching and dielectric deposition but also highlight challenges and solutions in two other critical processes which are lithography and non-destructive electronic quality characterization.

2D材料设备制造网络研讨会

石墨烯处理解决方案

我们启动了网络研讨会，介绍了我们的石墨烯设备处理解决方案中的最新更新。亮点是对石墨烯和其他2D材料（例如MOS）的晶状体整合的过程取得的良好进展₂，在这些惰性表面和2D材料蚀刻的原子层上，高质量介电的原子层沉积。

电子束光刻解决方案

来自Raith GmbH的Frank Nouvertne博士是电子束光刻解决方案中知名的领导者 - 提出了准备石墨烯设备的一些挑战和解决方案。特别是，提供的新的光学成像模块用于最大程度地减少石墨烯污染，这在使用电子束定位和成像时可能是一个问题，以及易于使用的易用性，可以在进行多层光刻时有效地重新审视感兴趣的区域，令人印象深刻，令人印象深刻。

THZ时域光谱

最后，来自Das-Nano S.L.的以色列Arnedo博士引入并突出了一种出色的新技术，可以在反射模式下快速和非破坏性地使用THZ时域光谱，以确定石墨烯和其他薄膜的优点电量。Das-Nano是一家技术公司，为航空航天，汽车，风能和海军等许多行业提供最先进的解决方案。很高兴了解这项技术的功能，即使在300毫米晶圆上进行一次扫描，也可以提供电导率/板材电阻，漂移移动性，载流子密度等等。

如果您错过了所有这些动作，并且渴望了解有关这些技术的详细信息，那么好消息是我们创建了一个按需链接为您所有人都可以在您方便的情况下查看这一点！我们鼓励您利用这项服务，并通过您的问题与我们联系，即使您想讨论我们详细介绍的任何内容。期待您的回音！