反映了MEMS领域的快速发展及其研究社区的承诺和成功，IEEE MEMS会议系列已发展成为MEMS领域的首要年度活动。

的MEMS2018会议在英国贝尔法斯特举行，约有600人出席，会议内容涵盖微机电系统的广泛应用。万博电脑网页版登录亚洲和美国的学术团体有很强的代表性。Robert Bosch的Frans Laermer在主题演讲中指出，在汽车应用的推动下，压力传感器和加速度计的技术相对成熟。万博电脑网页版登录消费电子产品，特别是智能手机也包含MEMS设备，用于检测屏幕方向和与健康相关的任务，如计算步长。虽然MEMS器件的产量令人印象深刻，但与传统集成电路制造相比，它们仍然相形见绌，而且在封装方面，MEMS器件很少有足够的体积，值得开发自己的定制封装。

虽然领先的应用程序相对成熟，但学术团万博电脑网页版登录体在开发新的传感器方面仍然非常丰富，有些传感器具有非凡的灵敏度;我最喜欢的是一个测量蝴蝶翅膀受力的实验。薄膜蚀刻和薄膜沉积技术是使之成为可能的技术。沉积薄膜的应力控制是必不可少的涂层膜和活动部件，如悬臂梁:在狗万正网地址我们为这种应用提供应力控制PECVD工艺和低温ICPCVD工艺。许多团队使用循环深度反应离子蚀刻(DRIE)方法在硅上雕刻深通道，这种方法交替使用原子氟和钝化聚合物沉积进行快速蚀刻，两者都由等离子体驱动。狗万正网地址已为其先进的DRIE技术申请专利，通过缩短步长(EP 2820670 B1)，使DRIE的侧壁更加光滑。

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作者:Mike Cooke博士