生物医学设备（例如传感器和药物输送贴片）由于严格的基材，热预算的要求而在材料制造中构成了一个有趣的挑战。该帖子概述了在牛津仪器上进行的等离子体和热过程的五个示例，用于在牛津仪器上用于应用于应用于应用于应用的牛津技术工具。狗万正网地址万博电脑网页版登录卫生保健。

1.使用ALD和离子束蚀刻工艺制造的ZnO纳米线传感器¹

南安普敦大学的研究人员开发了一种pH传感器，其灵敏度降至46.5 mV/pH。该设备是使用原子层沉积（ALD）ZnO层的过程将其各向异性蚀刻为40 nm纳米线。该过程可扩展高达6英寸的晶圆，并使用标准光刻技术。

2. ALD沉积基于ZnO的药物释放层²

弗莱堡大学生物医学微技术（IMTEK）实验室已将ZnO直接沉积到聚乙二醇膜中，该乙二醇形成了释放材料的基质。它们将导电聚合物沉积在该层的顶部，该聚合物基于电刺激改变了其渗透性。他们观察使用荧光素的受控释放。在这里，关键要求是ZnO沉积的<150℃热预算。使用蛋白石系统研究人员能够在低至50℃的温度下沉积ZnO。

3.用于药物输送补丁应用的SI微针万博电脑网页版登录

狗万正网地址深反应离子蚀刻（DRIE）如华盛顿大学的科学家在西雅图的科学家所证明万博电脑网页版登录³。在此过程中，RIE工艺用于将230μm的硅支柱锐化到其尖端200 nm的宽度。它们将单个针头封装在聚酰亚胺支持结构中，以证明柔性神经植入器装置。

4.保护性介电层以保留SOI纳米线生物芯片的神经摩尔敏感性⁴

俄罗斯科学院的研究人员使用了血浆增强的ALD工艺，以证明具有无定形氧化铝的硅纳米线传感器对这些设备的敏感性没有有害的影响，并为液体稳定性提高了稳定性。

5.使用电激发等离子体纳米颗粒的生物分子检测⁵

在耶纳（Jena）莱布尼兹光子技术学院（Leibniz Photonic Technitute）的纳米生物素科与量子检测系之间的合作中，德国科学家使用了金属 - 磁通型轴导剂异质结构表现出电动等离子体模式。ALD被用来存放al₂o₃介电作用A隧道连接的层，该隧道连接在其跨隧道时在其上施加电压后会根据隧道电流的波动产生表面等离子体。使用这种技术，他们使用牛血清白蛋白（BSA）证明了生物检测，该牛血清白蛋白（BSA）在金属纳米颗粒上形成识别层。然后，使用这些生物分子的结合引起的光谱移位检测到由特异性结合的抗体组成的分析师。

参考：

1. Sun等。微电子工程153（2016）96–100
2. Boehler等人，科学报告，19574（2016）
3. Hanein等人，J。Micromech。Microeng。13（2003）S91 – S95
4. Popov等人，半导体，50，（2016）5，632–638
5. Dathe等人，Nano Lett。2016，16，5728-5736

作者：Ravi Sundaram博士