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等离子体技术
原子尺度处理

“我,一个由原子组成的宇宙,宇宙中的一个原子。”理查德·费曼(Richard P. Feynman)说

我们所做的每一件事都涉及到对原子的操纵所以有什么大不了的原子尺度处理?每次只创造或去除一个原子层,这就是我至今仍觉得不可思议的东西。想想人类的头发,它似乎是一个标准单位,当它比较的是多么小的东西,直径约0.1毫米。如果一根头发足够长,我们就可以在不借助放大或工具的情况下处理它。把它放到一个直径比一根头发丝小一百万倍的原子上,直径和原子是一个复杂的概念但请容忍我,你如何创造一层原子?我们怎么知道我们创造了它,你相信我的话吗?

现在,你可以用不同的材料制作单层原子,甚至可以用一些技术将它们一层一层地移除原子层沉积(ALDep),原子层腐蚀(我们)和2 d增长通过高温化学汽相淀积(CVD)。眼见为实,衡量靠的是原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱

现有的技术可以制造这些层,等离子技术有这些工具并且唯一能够将它们集中在一个工具上。

虽然这本身就是一项令人着迷的成就,但当你开始使用这些新层来制作设备时,它就变得更加令人兴奋了。这些层有一些惊人的电学特性,这些特性被用来制造一些非常有趣的晶体管。这只是一个开始,这些材料的数量和领域前所未有地丰富,正在开启新的设备。这是一个鼓舞人心的时刻,想象和科学正在互相追赶。

套用费曼的话说,成为宇宙中的原子是多么伟大的时刻啊!