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为HBLED制造提供卓越的单晶圆和批量晶圆能力的生产工艺系统

狗万正网地址牛津仪器为高亮度LED生产提供了一系列独特的工艺解决方案,确保了生产过程中关键点的最高吞吐量。为HBLED制造商提供等离子蚀刻和PECVD工具超过17年,我们知道如何提供贵公司所需的拥有成本和设备性能。

我们的解决方案

狗万正网地址牛津仪器拥有广泛适用于LED器件的加工设备。

  • PECVD钝化可以获得优异的击穿电压,从而实现最佳的器件性能
  • 氮化镓腐蚀用于led或激光。氮化镓腐蚀保持表面质量和低损坏
  • 高蚀刻率,适用于难蚀刻材料
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