微纳机电系统(M/NEMS)和传感器已经被广泛应用于消费和商业产品中。这包括智能手机、汽车、游戏机、导航设备、无人机和生物医学设备。随着物联网(IoT)的成熟超过其当前的能力,这一数字将会增加。
随着对节能,更小和成本效益的设备需求的增加,全面选择制造要求是必不可少的。狗万正网地址牛津仪器提供一系列独特的灵活设备和工艺解决方案,以应对这些挑战,其中包括深层硅腐蚀,ICP,PECVD,“肾上腺脑白质退化症”,纳米级的增长而且离子束腐蚀而且沉积.