2022年9月22日

GaN HEMT器件性能

狗万正网地址牛津仪器和印度工业研究所宣布GaN HEMT器件性能的突破性进展

狗万正网地址牛津仪器与其研究伙伴工业技术研究所(ITRI)今天可以分享新的和令人兴奋的技术进展，这将显著有利于关键的高速增长电动汽车、数据中心和5G市场。技术的发展允许关键晶体管组件在更高的电压下工作，这增加了性能和可靠性，同时与现有设备相比，也实现了更安全和更节能的操作(通常是关闭“e模式”)。新的GaN(氮化镓)HEMT器件结构是由嵌入到AlGaN层的一个凹形绝缘栅极结定义的，该器件被称为GaN MISHEMT。

2021年9月，牛津仪器等离子技术公司狗万正网地址和印度工业研究所宣布了一项下一代复合半导体的合作研究计划。这一最新突破是合作实现加速技术造福合作伙伴、其所在地区和更广泛的全球市场目标的一个例子。自该声明发布以来，Oxford Instrumen狗万正网地址ts还公布了与Laytec的独家供应协议，Laytec的端点技术用于控制GaN MISHEMT凹槽门深度。隐窝深度的准确性和可重复性是调整器件性能特性的关键，LayTec的技术是专门为这一应用设计的，可达到±0.5nm的目标深度精度。工业研究所提供试制生产和增值服务，包括工艺验证和产品开发。万博手机版max客户端ITRI的集成服务，特别是这个GaN开万博手机版max客户端发项目，已经被证明是非常有益的，它很快证明了GaN MISHEMT的更高性能，并为设备提供了更低的风险和更快的市场路径。

Oxford Instruments狗万正网地址战略业务发展总监Klaas Wisniewski表示:“我们拥有优秀的战略合作伙伴和客户，如Enkris、ITRI、LayTec和ROHM，我们的GaN解决方案在服务、增长和从巨大的机会市场中获得强大的优势。我们的领导原子层蚀刻而且原子层沉积(ALD)技术正在提高材料工程性能，以达到表面质量和缺陷减少的新水平，以满足对更高性能器件日益增长的需求。”Klaas还补充说:“有了我们的技术合作伙伴ITRI、大量的GaN制造客户以及我们对高价值和专有工艺解决方案的专注投资，我们预计GaN设备市场将成为我们业务和技术路线图的关键驱动因素。”

Klaas Wisniewski于2022年9月14日至16日在台湾台北举行的“半导体展”上发表了题为“用原子尺度加工生产解决方案提高GaN HEMT在电力电子应用中的性能”的演讲。万博电脑网页版登录请与我们联系，讨论我们的最新数据和合作机会。

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