layerprobe.
这本8页的小册子展示了LayerProbe的特性、优点和工作原理,以及它应用的许多应用。万博电脑网页版登录
层探头分析样品的表层和次表层的成分和厚度。这是一种基于已建立的微分析技术的非破坏性工具,它比专用的薄膜测量工具更经济、更高的分辨率和更精确。
LayerProbe通过计算表面下各层的成分和厚度,补充了传统EDS分析获得的元素和相信息。
LayerProbe是理想的广泛应用,包括后端和前端芯片制造,半导体研发,光学和万博电脑网页版登录工业涂层,纳米电子器件…
LayerProbe提供了一种新的方法来量化TEM薄片的厚度和质量,同时也为fib - sem上的层状样品的横截面分析提供了一种补充技术。
LayerProbe基于成熟的技术,与其他技术相比具有显著的优势
LayerProbe与其他技术的比较
layerprobe. | 椭圆光度法 | 心房纤颤/ TEM | 苏格兰皇家银行 | |
非破坏性 | 是的 | 是的 | 没有 | 是的 |
高空间分辨率 | 是的 | 没有(> > 1微米) | 是的 | 是的 |
快速分析 | 是(每分需要几秒) | 是的 | 没有(几小时) | 没有 |
成本 | 相对便宜的 | 昂贵的 | 非常昂贵的 | 非常昂贵 |
LayerProbe有多精确?
硅衬底上ALD层的比较
LayerProbe厚度(nm) | 密度(gcm-3) | 椭圆对称厚度(nm) | 折射率 | |
高频振荡器2 | 28.1±0.1 | 9.4 | 33.6±5 | 2.04 |
艾尔2O3. | 57.0±0.2 | 3.0 | 52.8±5 | 1.64 |
层探针EDS和RBSD成分测量
层探针-化学计量比 | RBS -化学计量比 | |
高频/ O | 2.13 | 2.07 |
Al / O | 1.56 | 1.60 |
示例:PCB应用- Au在Ni上,Si衬底上
层探头和XRF厚度测量
LayerProbe厚度(nm) | 密度(gcm-3) | 光谱仪厚度(nm) | |
非盟 | 60.1±0.7 | 19.3 | 61±25 |
倪 | 123.5±0.7 | 8.9 | 141±24 |
SEM截面测量证实了结果…