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NanoAnalysis |博客
没有显微镜师的电子显微镜

30.th9月2020 |作者:安东尼·海德

没有显微镜师的电子显微镜

在过去的10年里,使用电子显微镜进行EDS分析的人的类型发生了巨大的变化。使用SEM/EDS的个人不太可能是专门的电子显微镜专家,他们也在照看扫描电镜。扫描电镜/EDS更有可能是个人将使用的众多仪器之一,因此用户将有更少的时间专门用于每一种仪器。在电子显微镜方面具有有限背景的用户的增加,也与对具有分析能力的小型显微镜的更大需求相吻合。这些系统的应用类型包括样品万博电脑网页版登录筛选,失效分析,质量控制和常规材料表征。

了解非显微镜工作者在进行显微镜检查时的需求,有助于我们将EDS系统解决方案组合在一起,使他们能够完成自己的工作。例如,我们知道用户希望更快地得到结果,因此我们开发了新的高吞吐量Xplore EDS检测器。我们知道用户需要他们的结果是可靠和准确的,所以我们还结合了一系列强大的算法和软件解决方案,创建了一个系统专门用于扫描电镜的常规分析。

伊克斯托EDS系统

如何确保你的结果是准确的?

该系统解决方案的关键组件之一是truu - q,它是一种独特的技术组合,可以实现自动、实时的元素识别和成分确定。这些技术包括:可在所有情况下工作的鲁棒光谱处理,不需要任何背景拟合调整,完整的检测器和硬件特性,用于真正的无标准分析,矩阵校正已证明的精度超过ZAF或phi - rh - z,自动脉冲堆积校正,即使在高计数率下也可工作。

为了确保我们的系统提供的结果无与伦比的准确性和确定性;我们设计了一种标准测试来验证我们探测器的性能。该测试确保通过的所有探测器对依赖于相同频谱处理(如自动峰值识别和TruMap)的所有特征都是准确的。在测试中,我们测量了广泛的标准材料,覆盖了元素周期表的重要部分,以覆盖用户可能看到的最广泛的材料。其中包括硼和碳等极轻元素,硅和铁等常见元素,以及金和铅等重元素。

伊克斯托

Ultim马克斯

图表显示了每个元素的结果与标准认证成分的接近程度。如果结果完全匹配,那么它将在图上虚线处的1处绘制。如果结果太高,它将被绘制到直线的右侧,如果太低,它将被绘制到左侧。其目的是尽可能得到最窄的分布,表明所有元素的结果都非常接近预期值。

这两张图显示了非常相似的分布,证明了Xplore和使用我们的高端Ultim Max检测器的系统之间的结果质量是相似的,Ultim Max检测器被普遍认为是定量EDS分析的金标准。两种检测器的分布表明,结果可达到预期值的95%以内。把它放在上下文中,这是使用标准来校准结果的定量分析的典型精度目标。我们可以直接使用无标准的方法来达到这一精度水平,而不需要额外的校准。没有其他的EDS系统显示出任何接近这种准确性,使您对结果有信心。

如何确保您测量的是正确的东西?

我们知道,通过新的硬件和算法,我们在提供快速、准确和可靠的结果方面取得了巨大进步,但如果没有正确的软件,这一切都是毫无意义的。为此,我们为用户提供了两种可供选择的EDS系统软件平台:

  • AZtecOne
  • AZtecLive

AZtecOne是为那些很少或根本没有EDS知识的人设计的,或者是为急于获得结果的人设计的。它有一个简单的用户界面,易于使用,直观,容易训练新用户。

AZtecOne软件平台

AZtecLive为需要更高级的功能和灵活性的用户而设计。您可以在不同的操作模式和许多软件选项之间进行选择。

AZtecLive软件平台

它通常是一些简单的特性,但却能带来速度和易用性方面的巨大好处。在这里,我们可以看到AZtecOne和AZtecLive中的频谱查看器具有比较获取频谱和库频谱的能力。不需要等待,直到获取完成-量化结果立即显示在MiniQuant查看器中。当用户满意时,他们可以在几秒钟内注释频谱并将结果通过电子邮件发送给他们的客户。

住光谱比较

如果数据很难理解怎么办?

当用户想要确定样品中元素的分布时,就执行x射线映射。所有EDS系统用于生成这些地图的通用方法是在每个像素上显示从特定能量范围检测到的x射线的数量(Windows Integral - WI)。这种方法适用于简单的材料,但这里有一个示例,它不太适用。

S的WI图

Mo的WI图

WI映射的问题在于,当你有两个具有相似能量的主峰的元素时,它们的映射能量窗口就会重叠。这将不可避免地意味着它们将拥有相似的地图。没有经验的用户可能会认为S和Mo分布非常相似。

AZtec旨在为所有类型的用户提供准确和可靠的结果。因此,每当一个标准的地图采集开始时,AZtec将通知用户任何潜在的元素重叠:

我们开发了TruMap来消除这个问题。它使用强大的算法进行峰值反褶积和背景去除,速度足够快,可以实时工作,在几秒钟内计算地图,无论是在采集过程中还是在采集后(正如前面提到的,这样的功能只有在我们严格的检测器测试程序中才可能实现)。

下面我们可以看到,使用TruMap时S和Mo的分布有很大的不同。

TruMap的年代

TruMap的莫

新手或经验不足的用户不可能知道这个潜在的问题,很容易报告不准确的结果。

为什么上线?

目前的抽样调查工作流程是连续的,耗时的,有时是不确定的。实时化学成像使样品调查更加动态、高效和全面;当你在样品周围移动时,允许你查看实时电子图像,实时x射线图和实时光谱,这样你就不太可能错过感兴趣的特征。

使用AZtecLive化学成像使用户能够更快地发现感兴趣的区域,并分析更多的样本。它还让用户更有信心,他们不太可能错过感兴趣的特征,更有可能找到答案。

牛津仪器公司的高通量Xplore系统是任何扫描电镜进行常规分析的理想解决方案。狗万正网地址如果您对提高易用性、提高生产力和增强信心感兴趣,那么这可能是适合您的解决方案。

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