什么是EDS/EDX?

什么是EDS/EDX分析?

EDS/EDX(能量色散x射线光谱仪)是一种基于电子照射产生的x射线信息进行元素和成分分析的技术。当一个入射电子在组成原子的内壳层的电子轨道上产生一个空位时，具有较高电子能级的电子从外层转移来稳定它。

在这个过程中发射的x射线被称为特征x射线，每个元素都有特定的能量值。根据所获得的特征x射线的能量，元素(₄是₉₈Cf)在样品中可以在几秒钟内识别(定性分析)。特征x射线的强度还可用于测量每种元素的含量(定量分析)和分析视场内的偏析(x射线映射)。最新的系统还提供足够快的元素分布的动态成像，以实现实时交互式显微镜(实时化学成像);对于EDS，当样品移动时，在原位实验(活体化学成像)中改变显微镜设置或修改样品。

显示特征x射线生成的图像

硅漂移探测器(SDD)不需要液氮冷却，现在是最常见的探测器类型，由于其易于维护和分析时间短而被广泛使用。x射线的空间分辨率取决于样品内反射电子的散射，通常被认为是1000s nm到几μm，但近年来，通过使用薄膜处理或无窗SDD结合非常低的加速电压(高达2 kV)，已经进行了10nm水平的分析。无窗SDD也可用于检测锂(_3.Li)，因此被用于锂离子电池的开发。

图为EDS/EDX光谱图