同时EDS和EELS

在透射电子显微镜(TEM)中，有两种元素分析技术:能量色散x射线能谱(EDS)和电子能量损失能谱(EELS)。

EDS是一种成熟的技术，可用于大多数标本。产生的x射线的强度与样品的质量厚度成正比。然而，对于非常薄的样品或包含轻元素的样品，这可能成为一个限制。另一方面，EELS更适合于厚度小于材料中非弹性平均自由程的薄样品。然而，对于轻元素，EELS确实给噪声一个高信号。同时采集两种信号是材料分析的有力工具。

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