利用扫描电镜透射菊池衍射提高EBSD的空间分辨率

能够在纳米尺度上表征材料变得越来越重要。尽管近年来技术有了显著的发展，但EBSD技术仍然受到模式源体积的限制，分辨率在25-100 nm之间;这不足以准确测量真正的纳米结构材料(平均晶粒尺寸低于100纳米)。一种基于sem的衍射新方法已经出现，即使用电子透明样品与传统的EBSD硬件和软件相结合。这种技术被称为透射EBSD (t-EBSD: Keller and Geiss, 2012)或SEM透射菊池衍射(TKD: Trimby, 2012)，已被证明能够实现优于10纳米的空间分辨率，是纳米结构和高度变形样品的常规EBSD表征的理想选择。

本应用说明描述了使用NordlysNano EBSD探测器和在传输模式下工作的EBSD系统所需的设置AZtecHKL．它说明了TKD在纳米结构镍样品和高度变形的不锈钢上的应用，这两者都不可能用传统的EBSD进行表征。

*请注意，此应用说明是指NordlysNano。这已被更新为对称S3．