用AZtec测定TKD最佳样品厚度

扫描电子显微镜(SEM)中的透射菊池衍射(TKD)自2010-2012年发展以来，已成为表征纳米结构材料的一种日益常规的技术。TKD技术的简单性，包括一个安装在场发射枪(FEG)扫描电镜上的标准EBSD系统，加上2-10纳米尺度的空间分辨率，使研究人员能够对颗粒尺寸明显低于50纳米的样品进行定向测绘，这是使用传统EBSD无法实现的。

提高TKD空间分辨率的关键是使用电子透明样品，如为标准透射电子显微镜(TEM)准备的样品。与TEM不同的是，大多数商业sem的束流能量被限制在30 kV，因此在使用TKD分析时，通过样品厚度有更多的电子散射。这意味着样品的厚度是至关重要的:太厚，电子束将散射得更广，分辨率将显著下降;太薄，衍射信号将不足，无法进行有效和快速的测量。此外，使用聚焦离子束(FIB) SEM制备样品会导致Ga离子注入导致样品表面的非晶化:由于TKD的主要信号来自样品的下表面，Ga-损伤会导致衍射模式的完全丢失，从而阻止成功的分析。

AZtecSynergy利用能量色散x射线能谱(EDS)和TKD数据进行采集。阿兹特克LayerProbe用来确定TEM箔中Ga损伤的样品厚度和程度，并对一系列材料评估最佳的样品厚度。该方法描述并应用于演示样品厚度和密度对TKD结果的影响。

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• 如何描述和应用上述方法来演示TKD结果上的样品厚度和密度。

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