分析一种使用低kV EDS的NAND闪存设备

历史上，能量色散x射线光谱学一直专注于高能，其中x射线线分离得很好，x射线背景很低。最近，无论是分析半导体器件还是测量金属中的沉淀物，对更高空间分辨率的需求都急剧增加。为了确保在这些苛刻的条件下工作时最大的灵敏度Ultim^®EDS探测器系列将最大面积SDD与优化的几何形状相结合，始终提供更高的计数率。