与我们的应用团队合作,牛津仪器等离子技术应用工程师舒毅博士将介绍一套ALD在单个腔室单次运行下沉积高质量氮化物和氧化物的策略。狗万正网地址
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位置
虚拟
日期
2021年6月的观众
业务
等离子体技术