九月
14

干燥加工研讨会2022

干燥处理研讨会:沉积与蚀刻

2022年9月14日至15日

由牛津仪器(Namlab)主持的牛津仪器(Oxford Instrumen狗万正网地址ts)为牛津仪器设计的互动研讨会。

这个为期两天的活动将在德国德累斯顿的Namlab设施举行。

参加费用为240欧元,其中包括在两天内参加活动,以及第一个晚上的晚餐。

请在下面的活动中注册您的利息*。

地点

德累斯顿,德国

商业

等离子体技术


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示例议程**

  • MEMS应用的干蚀刻 - 深硅蚀刻(DSI万博电脑网页版登录E)技术(Bosch,低温,混合气)
  • 根据底物偏置,在等离子体ALD中的调谐材料特性
  • 原子层蚀刻(ALE)的最新进展
  • SIC蚀刻通过孔和功能用于RF和Power Applications万博电脑网页版登录
  • INP蚀刻过程的审查,包括终点检测和等离子清洁过程
  • 等离子体沉积PECVD或ICP CVD-使用什么过程以及何时使用
  • 离子束蚀刻(IBE)用于角度特征 - 独特的功能
  • 离子束沉积
  • 钻石蚀刻 - 应用和挑战万博电脑网页版登录
  • NBN ALD用于量子计算/传感
  • 量子计算/传感的等离子体技术
  • 原子法:高质量栅极介电的原子层沉积(ALD)使下一代gan hemts
  • 如何使用终点检测技术来监视和控制血浆过程
  • 流程室管理并使用血浆清洁实现最大的系统正常运行时间
  • 用于大量生产的等离子体解决方案,重点放在VCSER制造的藻类/GAAS处理上
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*注册请求不是参与的确认。出席是由牛津仪器酌情决定的。狗万正网地址

**该议程是出于说明目的,将确认最终议程。

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