量子
量子材料

量子材料的进步对开启量子器件性能的下一个飞跃至关重要。狗万正网地址牛津仪器为新型材料和器件的制造和表征提供世界领先的解决方案。我们的解决方案是为了满足原子纯度、化学计量精度、表面和界面光洁度以及伪双层系统最小化的首要要求而开发的。芯片封装和键合是系统集成的一个关键方面,使用的信号带宽高,需要在不损失相位相干的情况下将信号在芯片上和芯片外传递给超导器件,这给系统集成带来了挑战。

有几种方法和材料平台来实现高度可扩展的量子电路。超导量子电路和俘获离子方法是现实应用的两项领先技术。万博电脑网页版登录然而,在规模化捕获离子或超导量子计算机方面存在一些技术挑战,这导致了对创建量子比特的各种其他方法的探索,如使用集成光子学方法的光子量子计算,高温量子比特,如钻石NV中心,基于半导体的自旋量子位,奇异的拓扑保护量子位或利用所有这些元素的混合方法。这些技术在技术准备规模上略低一些,但每天都随着新的和改进的开发而迅速发展。

量子器件制造的材料加工

利用超导、半导体和宽带隙材料已经开发出了候选器件。从长期来看,有用的器件很可能是需要复杂制造的混合结构。狗万正网地址Oxford Instruments提供最先进的工艺解决方案,用于跨各种平台制造关键量子器件组件:

  • 原子层沉积
    • 用于量子位元、量子电路、微波谐振器和单光子探测器的超导材料,如NbN和TiN等
    • 电介质(如Al2O3., AlN和TaN)的隧道屏障约瑟夫森路口
    • 艾尔2O3.作为金刚石光学元件(微腔、纳米梁、波导等)的钝化层
  • 超导金属蚀刻,如Nb, Ta, Al, TiN
  • PECVD和ICP CVD
    • 低氢含量SiNx的低损耗波导
    • SiNx用作金刚石结构的硬掩膜
  • 在光学量子技术中集成光子元件,通过Bosch或SiNx, InP和GaAs的低温蚀刻进行光滑侧壁蚀刻
  • 反应离子蚀刻(RIE)光滑,低损伤金刚石减薄与O终止,进一步保护NV中心。
  • TSV的深硅蚀刻,实现量子电路的3D集成

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它还将解决分析相关显微镜研究的两个主要挑战:使用不同类型的显微镜从样品的同一区域获取数据,并将收集到的数据进行关联。

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