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等离子体辅助蚀刻和沉积溶液,用于制造各种材料体系中的器件

功率半导体制造解决方案

随着对高效电力转换新技术需求的增加,如电动汽车具有高性能是必须的。使用碳化硅和氮化镓等材料可以降低能量损失。透过原子层沉积(“肾上腺脑白质退化症”)和等离子辅助蚀刻和沉积,我们能够优化工艺,提供最有效的设备。我们的“肾上腺脑白质退化症”工艺通过出色的钝化降低GaN/AlGaN器件的阈值电压漂移。

我们的蚀刻过程氮化镓而且原文如此生产优质的侧壁,以最小的损坏,确保最佳性能。

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半导体激光制造解决方案

随着对高效电力转换新技术需求的增加,如电动汽车具有高性能是必须的。使用碳化硅和氮化镓等材料可以降低能量损失。透过原子层沉积(“肾上腺脑白质退化症”)和等离子辅助蚀刻和沉积,我们能够优化工艺,提供最有效的设备。我们的“肾上腺脑白质退化症”工艺通过出色的钝化降低GaN/AlGaN器件的阈值电压漂移。

我们的蚀刻过程氮化镓而且原文如此生产优质的侧壁,以最小的损坏,确保最佳性能。

激光有大量的应用,从更快的通信到通过激光雷达实现自动驾驶万博电脑网页版登录汽车。狗万正网地址牛津仪器长期以来一直在开发激光二极管所需的III-V材料的工艺。无论什么材料,最终的过程控制是至关重要的,我们有从AlGaN到InP的过程。

激光应用的工艺解决方案万博电脑网页版登录

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用于半导体和微电子研究的AFM 纳米级电特性的AFM工具 电力设备等离子体工艺解决方案 射频器件等离子体工艺解决方案 HBLED应用的等离子体工艺解决方案万博电脑网页版登录 激光应用等离子体工艺解决方案万博电脑网页版登录 红外传感器应用的等离子体工艺解决方案万博电脑网页版登录 二维材料等离子体加工解决方案 用于MEMS和传感器应用的等离子体工艺解决方案万博电脑网页版登录 元素和结构特征 元素和结构特征

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