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MEMS制造，结构特征
MEMS使新一代探测器能够实现高效测量，例如用于安全关键系统和自动驾驶汽车的运动传感。我们提供制造先进MEMS传感器所需的工艺和工具，并对其进行表征。
MEMS和传感器的工艺解决方案
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