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扫描微波阻抗显微镜(sMIM)

sMIM在金属、半导体和绝缘体上实现纳米级的介电常数和导电性映射(兼容所有MFP-3D AFMs, Origin除外)

  • 提供更高的横向分辨率(<50 nm)和优越的信噪比(>10X)
  • 与竞争技术相比,运行速度快80X,功耗低


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