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纳米级依赖时间介电故障(NanotDDB)

nanotddb™可以用纳米级精度表征介电分解。通过导电AFM探针监测电流时,可以施加恒定或坡度偏差至±220 V(可用于除原点外的所有MFP-3D模型。MFP-3D Infinity上的电压范围±150 V)。

  • AFM尖端的空间分辨率可实现与常规探针站相比,在长度尺寸要小得多的介电分解(〜20 nm)的局部测量值
  • 可以从高分辨率图像中精确选择测量点,或可以映射点网格


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