扫描电容显微镜（SCM）模块

扫描电容显微镜（SCM）是纳米电子成像技术可供选择Cypher和木星Xr.使用微波射频（RF）信号的原子力显微镜来映射半导体和其他样品中的电荷载体位置，掺杂剂水平和掺杂剂类型（P型与N型）。新设计的庇护研究SCM配件提供明显更高的性能和能力，而不是任何其他目前可用的SCM模块。福利包括：

• 不仅是差分电容（DC / DV）的测量，还具有与掺杂剂浓度线性相关的电容，从而能够更简单地解释SCM数据

• Over 20× faster scanning improves productivity (images in as little as 10 seconds!)

• 高灵敏度可以进行测量半导体那储能设备和2D材料

• 更高的分辨率成像显示较小的结构

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