扫描电容显微镜（SCM）：Cypher AFM的附件

扫描电容显微镜（SCM）是一种可在Cypher和Jupiter XR XR原子力显微镜上获得的纳米电机成像技术，它使用微波射频（RF）信号来映射电荷载体位置，掺杂剂水平和掺杂剂类型（P-TYPE与N-type），在半径和N-type中）其他样本。新设计的庇护研究SCM配件比当前任何其他可用的SCM模块提供的性能和能力明显更高。好处包括：

• 措施不仅是差异电容（DC/DV），还具有与掺杂剂浓度线性相关的电容，从而可以对SCM数据进行更简单的解释

• 超过20倍的扫描速度超过20倍可提高生产率（仅在10秒内图像！）

• 高灵敏度可以测量半导体，，，，储能设备和2D材料

• 较高的分辨率成像揭示了较小的结构

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