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干涉式位移传感器

数据表

这个干涉式位移传感器Cypher AFM的选项直接测量悬臂偏转而不是悬臂角用于常规光束检测(OBD)。IDS消除了由于静电耦合造成的伪影，使测量更具重复性和准确性，特别是对于压电响应力显微镜(PFM)和d33测量。


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