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在Cyper AFMS上具有纳米级精密的介电击穿的表征。可以在通过导电AFM探针监控电流的同时施加恒定或升高的偏置。
AFM探针的空间分辨率使介电击穿的局部测量(~20 nm)在更小的长度尺度比传统的探针站可能
精确地选择来自高分辨率图像的测量点,或者可以映射并分析点网格
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