扫描电容显微镜（SCM）

扫描电容显微镜（SCM）是一种功能强大的成像模式，可让研究人员和工程师直接可视化掩模和植入物对准和掺杂液中的微小变化和错误，并了解这些问题从这些问题中产生的故障。

这最近发布的SCM模块对于庇护研究，Cypher和木星原子力显微镜可以实现这些相同的见解，但与上一代设计相比，具有显着优势，包括更高的灵敏度，更高的分辨率，更快的成像以及直接测量电容的能力，而不仅仅是差异能力（DC/DV）（DC/DV）。本申请说明描述：

• SCM如何工作？
• 为什么庇护所SCM模块提供更高的性能和独特的功能？
• 为什么直接测量电容比差分电容更有用（DC/DV）
• 传统的示例半导体设备
• 关于与SCM不兼容的材料的示例，包括没有天然氧化物层的材料。
• 量子点

申请说明将引起人们的关注：

• 半导体行业的过程工程师和失败分析工程师
• 与科学家一起工作微电子设备和下一代半材料
• 使用其他高级材料的科学家，包括2D材料和储能材料

（左上角）庇护所的SCM模块可以直接测量电容，而不仅仅是直流/DV。在这里，我们显示了通常用作SCM测试样品的SRAM样本。

（右上）SCM模块还可以比其他模块快得多。该图像以8 Hz扫描，比典型的SCM快约8-16倍。

（右右）与DC/DV振幅数据不同，电容数据与此掺杂楼梯标准样本中的掺杂剂水平线性相关。

（左下）较高的灵敏度使庇护SCM模块可以在传统半导体以外的样品中成像样品，这里是碳纳米管。

（免费下载，庇护研究的称赞，原子力显微镜的技术领导者）