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用于半导体和微电子研究的原子力显微镜

扫描微波阻抗显微镜成像半导体晶体管器件

半导体物理学和器件电子学领域已经发展了多年,包括化学、材料、计算机科学、工程的所有分支,甚至生物学。原子力显微镜在过去20年的许多进展中发挥了关键作用。庇护研究所的原子力显微镜为这些复杂的设备和材料提供了广泛的技术。市场上没有任何仪器可以与调查人员可以使用MFP-3D和Cypher AFMs进行询问的材料和设备的广度相匹配。

向AFM专家咨询更多信息

扫描微波阻抗显微镜(sMIM)

  • 绘制局部电容和电阻的变化,以及掺杂浓度(dC/dV)和微波损耗(dR/dV)

导电AFM (CAFM)

  • 测量通过针尖的电流作为应用的样品偏置的函数

开尔文探针力显微镜

  • 精确测量表面接触电位差(CPD)基于工作功能的差异,捕获电荷的存在,或电压偏移

静电力显微镜

  • 绘制由嵌入绝缘材料的电容和导体的局部变化所产生的力梯度

当前映射与快速Force映射

  • 在快速力曲线的接触段中测量施加的样品偏压下的电流

纳米尺度随时间变化的介质击穿(nanoTDDB)

  • 检测介质薄膜的击穿电压

扫描门显微镜

  • 映射设备上的门,以测试一致性和检测失败

环境控制

  • Cypher ES及其环境电池可用于手套箱中,以防止材料和设备在开发和分析故障时的环境降解

光学衍射极限

  • 允许调查人员找到单个故障点和设备进行测试和分析

MacroBuilder

  • 高级GUI编码为用户提供了自动化测量的灵活性,以优化研究时间

sMIM

  • 描述广泛的线性和非线性材料,包括导体、半导体和绝缘体
  • 根据材料的介电常数和导电性提供对比
  • 绘制掺杂剂浓度和掺杂剂类型,及其在微电子器件失效分析中的应用万博电脑网页版登录
  • 限定碳纳米管表现出金属或半金属行为
  • 根据在表面测量的电容变化来可视化埋地结构
  • 描述具有< 50nm分辨率的奇异纳米线和其他新型纳米结构和纳米器件

KPFM

  • 识别样品中包含捕获电荷的区域
  • 监控薄膜覆盖和厚度的均匀性
  • 基于金属纳米结构的工作功能进行探测
  • 描述半导体结和异质结构的电势分布

EFM

  • 检测埋在绝缘基体中的碳纳米管
  • 检测聚合物共混物中的导电夹杂物

CAFM

  • 描述非易失性存储器中接入设备的开关性能
  • 描述氧化膜的均匀性和缺陷
  • 测量太阳能材料和设备上的光电流
  • 测量纳米线和纳米结构的电阻

当前映射

  • 绘制在n×n阵列上的电流-电压(I-V)曲线,用于半导体扩散电阻的完整表征
  • 快速电流映射材料使用快速力曲线结合电流映射到图像精致的设备和材料
  • 分析套件,包括半导体材料和器件的流动性,刚度和其他关键特性

J. K. Chang, H. P. Chang, Q. Guo, J. Koo, C. I. Wu和J. A. Rogers,放置板牙。30., 1704955(2018)。https://doi.org/10.1002/adma.201704955

“基于两种电AFM模式的移动载流子的局域特性:多谐波EFM与smm”,雷磊,徐瑞,叶胜,王旭东,许凯,S. Hussain,李永杰,Y. Sugawara,谢磊,季伟,程志成,期刊。Commun。2025013(2018)。https://doi.org/10.1088/2399-6528/aaa85f

“多晶单层二硫化钼的多端mem晶体管,”V. K. Sangwan, H. S. Lee, H. Bergeron, I. Balla, M. E. Beck, K. S. Chen和M. C. Hersam,自然554500(2018)。https://doi.org/10.1038/nature25747

“电化学应变显微镜探测有机电化学晶体管中离子吸收和性能的形态诱导变化,”R. girridharagopal, L. Q. Flagg, J. S. Harrison, M. E. Ziffer, J. Onorato, C. K. Luscombe, and D. S. Ginger,Nat。板牙。16737(2017)。https://doi.org/10.1038/nmat4918

“纸基片上柔性多栅氧化物基电双层晶体管的多功能逻辑演示,”邵飞,冯鹏,万昌,万昕,杨勇,石勇,万庆,放置电子。板牙。3., 1600509(2017)。https://doi.org/10.1002/aelm.201600509

D. A. Scrymgeour, A. Baca, K. Fishgrab, R. J. Simonson, M. Marshall, E. Bussmann, C. Y. Nakakura, M. Anderson, and S. Misra,达成。冲浪。科学。4231097(2017)。https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.261

“铁电隧道结的光控电阻和电控光电电压,”胡文杰,王振中,余伟,吴廷栋,Nat。通讯。710808(2016)。https://doi.org/10.1038/ncomms10808

HfO中量子电导、读干扰和开关统计分析2A. Ranjan, N. Raghavan, J. Molina, S. J. O'Shea, K. Shubhakar, and K. L. Pey,Microelectron。的完整性。64172(2016)。https://doi.org/10.1016/j.microrel.2016.07.112

“高铬酸盐基化学机械抛光材料的去除机理,”程军,王涛,何勇,卢旭东,达成。冲浪。科学。337130(2015)。https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.02.076

P. Ponath, K. Fredrickson, a . B. Posadas, Y. Ren, X. Wu, R. K. Vasudevan, M. B. Okatan, S. Jesse, T. Aoki, M. R. McCartney, D. J. Smith, S. V. Kalinin, K. Lai, and a . a . Demkov,Commun Nat。66067(2015)。https://doi.org/10.1038/ncomms7067

”二维quasi-freestanding高性能有机分子晶体场效应晶体管,”d, y,吴,r·徐h .南j . Liu j .姚元,y, z . Wang y, z镍、j . Wang l .他f .苗族f .歌曲,h .徐渡边k, t .谷口J.-B。Xu, and X. Wang,Commun Nat。55162(2014)。https://doi.org/10.1038/ncomms6162

“用宏观排列的半导体聚合物制作的高迁移率场效应晶体管”。曾宏彬,罗超,王明志,潘宏辉,王明志,王明志。阮,G. C. Bazan和A. J. Heeger,放置板牙。262993(2014)。https://doi.org/10.1002/adma.201305084

J. D. Wood, S. A. Wells, D. Jariwala, K.-S。陈,E. Cho, V. K. Sangwan, X. Liu, L. J. Lauhon, T. J. Marks, M. C. Hersam,Nano。146964(2014)。https://doi.org/10.1021/nl5032293

“柔性基片上的低电压自组装单层场效应晶体管”,T. Schmaltz, A. Y. Amin, A. Khassanov, T. Meyer-Friedrichsen, H.-G。Steinrück, A. Magerl, J. J. Segura, K. Voïtchovsky, F. Stellacci, M. Halik,放置板牙。254511(2013)。https://doi.org/10.1002/adma.201301176

“使用纳米thermocapillary流创建数组的纯半导体单壁碳纳米管,”美国h·金,邓纳姆、j .歌曲,x谢,j . Kim c, a .伊斯兰教,Du, j . Kim j .毛毡类y,熊,m·a·瓦哈卜m·梅农e .赵k . l . Grosse d·j·李,h .钟,e .流行m·a·阿拉姆·w·p·王,y黄和j·a·罗杰斯Nanotechnol Nat。8347(2013)。https://doi.org/10.1038/nnano.2013.56

“铁电效应增强金属/铁电/半导体隧道结的电阻值”,中国科学(d),Nat。板牙。12617(2013)。https://doi.org/10.1038/nmat3649

“基于垂直氧化锌纳米线的应变门控压电晶体管”,韩伟,周勇,张勇,蔡勇。陈立林,王旭东,王绍林,王振林,ACS Nano63760(2012)。https://doi.org/10.1021/nn301277m

“基于铁电隧道结的固态记忆,”A. Chanthbouala, A. Crassous, V. Garcia, K. Bouzehouane, S. Fusil, X. Moya, J. Allibe, B. Dlubak, J. Grollier, S. Xavier, C. Deranlot, A. Moshar, R. Proksch, N. D. Mathur, M. Bibes和A. Barthélémy,Nanotechnol Nat。7101(2012)。https://doi.org/10.1038/nnano.2011.213

“单层金属氧化物半导体2B. Radisavljevic, A. Radenovic, J. Brivio, V. Giacometti, and A. Kis, Nat。Nanotechnol。6147(2011)。https://doi.org/10.1038/nnano.2010.279

J. W. Park, D. F. Bogorin, C. Cen, D. a . Felker, Y. Zhang, C. T. Nelson, C. W. Bark, C. M. Folkman, X. q Pan, M. S. Rzchowski, J. Levy, C. B. Eom,Commun Nat。194(2010)。https://doi.org/10.1038/ncomms1096

"高分辨率,高灵敏度无机电阻" j·斯托尔斯和d·a·凯斯勒,Microelectron。Eng。86730(2009)。https://doi.org/10.1016/j.mee.2008.11.034

“用生物分子裁剪GaN半导体表面,”E. Estephan, C. Larroque, F. J. G. Cuisinier, Z. Bálint,和C. Gergely,期刊。化学。B1128799(2008)。https://doi.org/10.1021/jp804112y

“可溶蒽放射性噻吩的有机单晶场效应晶体管”,o.d. Jurchescu, S. Subramanian, R. J. Kline, S. D. Hudson, J. E. Anthony, T. N. Jackson和D. J. Gundlach,化学。板牙。20.6733(2008)。https://doi.org/10.1021/cm8021165

“用化学力显微镜寻找线宽粗糙度的起源,”J. T. Woodward, J. Hwang, V. M. Prabhu和K.-W。崔,纳米电子学的表征和计量前沿(eds。D. G. Seiler, A. C. Diebold, R. McDonald, C. M. Gamer, D. Herr, R. P. Khosla, E. M. Secula),航会议论文集931413(2007)。https://doi.org/10.1063/1.2799409

L. Zhou, H. Eda, J. Shimizu, S. Kamiya, H. Iwase, S. Kimura, and H. Sato,CIRP安。Manuf抛光工艺。55313(2006)。https://doi.org/10.1016/s0007 - 8506 (07) 60424 - 7