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纳米尺度电特性的AFM工具

用原子力显微镜拍摄的碳填充聚合物混合物的表面电位图像

原子力显微镜固有的空间分辨率和直接探测能力使其成为纳米尺度电表征的强大工具。Asylum Research提供了一套完整的工具,用于在MFP-3D™和Cypher™系列原子力显微镜上表征纳米级的电性能。虽然定量电测量本身就是目标,电模式也经常被用来根据样品中相对于其他材料的电性能的定性差异来快速检测、区分和识别成分。

现在用于加密AFM的干涉位移传感器(IDS)选项d33使用压响应力显微镜的测量具有更强的重现性和无伪性。干涉检测直接测量悬臂梁偏转而不是悬臂用于常规光束检测(OBD)。IDS消除了由于静电耦合造成的干扰。下载以下白皮书选项卡中的数据表。

向AFM专家咨询更多信息

开尔文探针力显微镜

  • 基于功函数的差异、捕获电荷的存在或电压偏置,精确测量表面电位

静电力显微镜

  • 绘制由静电电荷产生的力梯度

纳米尺度随时间变化的介质击穿(nanoTDDB)

  • 检测介质薄膜的击穿电压

导电AFM (CAFM)

  • 测量通过针尖的电流作为应用的样品偏置的函数

当前映射与快速Force映射

  • 在快速力曲线的接触段中测量施加的样品偏压下的电流

扫描微波阻抗显微镜(sMIM)

  • 映射本地电容和电阻的变化,以及dC/dV和dR/dV

KPFM

  • 检测聚合物共混物中的导电夹杂物
  • 监控薄膜覆盖和厚度的均匀性
  • 基于金属纳米结构的工作功能进行探测
  • 描述半导体结和异质结构的电势分布

EFM

  • 识别样品中包含捕获电荷的区域
  • 检测埋在绝缘基体中的碳纳米管

CAFM

  • 描述非易失性存储器中接入设备的开关性能

sMIM

  • 描述广泛的线性和非线性材料,包括导体、半导体和绝缘体
  • 根据材料的介电常数和导电性提供对比
  • 绘制掺杂剂浓度和掺杂剂类型,及其在微电子器件失效分析中的应用万博电脑网页版登录
  • 限定碳纳米管表现出金属或半金属行为
  • 根据表面测量的电容变化来可视化埋地结构

“基于两种电AFM模式的移动载流子的局域特性:多谐波EFM与smm”,雷磊,徐瑞,叶胜,王旭东,许凯,S. Hussain,李永杰,Y. Sugawara,谢磊,季伟,程志成,期刊。Commun。2025013(2018)。https://doi.org/10.1088/2399-6528/aaa85f

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